PVA TePla GIGAbatch 360M — вакуумная установка для пакетной обработки пластин в микроволновой плазме. В отличие от однопластинных систем, она может одновременно обрабатывать несколько десятков пластин.
Основная задача GIGAbatch 360M — удаление фоторезиста и органических остатков после фотолитографии, имплантации или травления. Система также может использоваться для предварительной плазменной очистки перед жидкостной химической обработкой.
Это прежде всего плазменный Asher, а не оборудование для точного переноса рисунка в кремний, оксид или металл.
Какие процессы выполняет GIGAbatch 360M
Оборудование применяется для:
полного удаления фоторезиста;
удаления остатков резиста после проявления;
очистки пластин после травления;
удаления органических загрязнений;
Descum-обработки;
удаления полиимида;
активации поверхности;
подготовки к последующей жидкостной очистке.
Пакетная обработка особенно подходит для процессов, где требуется одновременно очистить большое количество пластин при одинаковых параметрах.
Какие материалы можно обрабатывать
Основная конфигурация предназначена для кремниевых пластин диаметром до 150 мм.
Обрабатываемыми материалами могут быть:
фоторезист;
полиимид;
органические защитные покрытия;
органические остатки на кремнии;
загрязнения на оксиде и нитриде кремния;
отдельные полимерные плёнки.
Применение фторсодержащих газов возможно только при наличии совместимых уплотнений и соответствующего материала камеры. Стандартную кварцевую камеру нельзя автоматически считать пригодной для любого фторсодержащего процесса.
Технические параметры GIGAbatch 360M
| Параметр | Значение |
|---|
| Производитель | PVA TePla / Technics |
| Модель | GIGAbatch 360M |
| Тип оборудования | Пакетная микроволновая плазменная установка |
| Основной процесс | Удаление фоторезиста и органических остатков |
| Частота плазмы | 2,45 ГГц |
| Микроволновая мощность | 0–1 000 Вт |
| Материал камеры | Кварц в базовой конфигурации |
| Диаметр камеры | 245 мм |
| Глубина камеры | 395 мм |
| Объём камеры | 18 л |
| Максимальный диаметр пластин | 150 мм |
| Максимальная загрузка | До 50 пластин с соответствующим держателем |
| Газовые линии | 2 линии с MFC в базовой конфигурации |
| Контроль процесса | Контроль температуры и End Point Detection |
| Электропитание | 230 В, 15 А, 50/60 Гц |
| Размеры | Приблизительно 795 × 1 540 × 710 мм |
| Масса | Около 190 кг |
| Год выпуска указанной машины | 2013 |
| Состояние | Бывшее в эксплуатации |
Максимальная загрузка в 50 пластин достигается только с подходящим пакетным держателем. Для пластин другого диаметра или толщины вместимость будет отличаться.
Какие конфигурации встречаются
Кварцевая или керамическая камера
Базовая конфигурация оснащается кварцевой камерой. На отдельных установках может применяться керамическая камера для другого набора процессов и газов.
Держатели пластин
Держатели различаются по диаметру пластин, количеству позиций, расстоянию между пластинами и материалу изготовления. Именно держатель определяет реальную загрузку партии.
Газовые линии
В базовой версии используются две линии с MFC. Возможны исполнения с дополнительными газовыми каналами и другими диапазонами расхода.
Контроль давления
На некоторых машинах устанавливается активное регулирование давления. В более простой комплектации давление определяется работой вакуумной системы и настройкой газового потока.
Дополнительные опции
В зависимости от заказа могут присутствовать:
система определения окончания процесса;
измерение температуры пластин;
клетка Фарадея;
специальные уплотнения;
моторизованная загрузка;
дополнительные держатели;
система для фторсодержащих газов.
Эти опции необходимо подтверждать по конкретной машине.
Что нужно указать для подбора GIGAbatch 360M
Для проверки конфигурации сообщите:
диаметр и толщину пластин;
количество пластин в партии;
тип удаляемого покрытия;
примерную толщину фоторезиста;
допустимую температуру;
используемые газы;
требуемое время обработки;
необходимость контроля окончания процесса.
На основании этих данных можно подобрать держатель, камеру, MFC и систему контроля процесса.