PVA TePla 660 — вакуумная микроволновая плазменная установка. Рассматриваемая машина настроена для травления краёв кремниевых солнечных элементов.
После диффузии легированный слой может переходить с лицевой стороны пластины на её торец и создавать электрическое соединение с обратной стороной. Это увеличивает ток утечки и ухудшает электрические характеристики элемента.
TePla 660 удаляет проводящий слой по краю пластины и электрически разделяет лицевую и обратную стороны солнечного элемента.
Какой процесс выполняет установка
В камеру загружается партия пластин. При пакетной загрузке основная поверхность пластин закрыта соседними пластинами, а воздействию плазмы подвергаются преимущественно открытые края.
Микроволновая плазма формируется при пониженном давлении. Состав газа и параметры процесса подбираются под материал пластины и легированный слой.
Оборудование используется для:
изоляции краёв солнечных элементов;
удаления легированного слоя с торцов;
снижения паразитной проводимости;
уменьшения тока утечки;
подготовки элементов к последующим операциям производства.
Эта конфигурация не является универсальной системой точного рисунчатого травления микросхем.
Какие изделия и материалы можно обрабатывать
Основное применение рассматриваемой машины:
кремниевые солнечные пластины;
моно- и поликристаллические солнечные элементы;
пластины после диффузии;
пакетно загруженные кремниевые подложки.
Платформа TePla 660 также применялась для плазменной очистки и активации компонентов. Однако переход от травления краёв солнечных элементов к обработке корпусов или других деталей потребует проверки держателя, материалов камеры, газовых линий и разработки нового процесса.
Технические параметры PVA TePla 660
| Параметр | Значение |
|---|
| Производитель | PVA TePla / Technics |
| Модель | 660 |
| Тип оборудования | Микроволновая плазменная установка низкого давления |
| Текущая конфигурация | Травление и изоляция краёв солнечных элементов |
| Частота плазмы | 2,45 ГГц |
| Микроволновая мощность | 0–1 000 Вт |
| Материал камеры | Алюминий |
| Объём камеры | 64 л |
| Внутренние размеры камеры | 400 × 400 × 400 мм |
| Диаметр установленного стола | 350 мм |
| Газовые линии | 3 линии с MFC |
| Линия напуска | Отдельная линия напуска газа |
| Базовое давление | Около 2 × 10⁻² мбар |
| Рабочее давление | Приблизительно 0,2–2 мбар |
| Время откачки | Около 1 минуты |
| Вакуумный насос | Сухой насос EBARA |
| Электропитание | 230 В, 1 фаза, 16 А, 50/60 Гц |
| Размеры | Приблизительно 1 050 × 1 720 × 770 мм |
| Масса | Около 180 кг без насоса |
| Год выпуска указанной машины | 2008 |
| Наработка указанной машины | 16 часов |
| Состояние | Бывшее в эксплуатации |
Наработку 16 часов необходимо подтвердить по контроллеру, журналу обслуживания или другим доступным документам.
Конфигурационные различия TePla 660
Назначение процесса
TePla 660 может быть настроена для разных плазменных процессов. Рассматриваемая машина оборудована для изоляции краёв солнечных элементов. Другая TePla 660 может иметь держатель для компонентов или подложек и использоваться для очистки поверхности.
Держатель и способ загрузки
Для этой установки указан стол диаметром 350 мм. У других машин могут применяться пакетные держатели пластин, кассеты или приспособления для отдельных компонентов.
Газовая система
На данной машине установлены три канала подачи технологических газов с MFC. Диапазоны расхода и совместимость с конкретными газами необходимо сверять по маркировке установленных расходомеров.
Вакуумный насос
В состав рассматриваемой конфигурации входит сухой насос EBARA. Модель, производительность, состояние роторов и комплектность вакуумных соединений проверяются отдельно.
Рецепты процесса
Наличие сохранённого рецепта изоляции краёв существенно важнее самого наличия микроволнового генератора. Следует запросить используемые газы, давление, мощность, время обработки и результаты на пластинах.
Что нужно сообщить при запросе
Для подбора TePla 660 необходимо указать:
тип солнечного элемента;
материал пластины;
размер и толщину;
количество пластин в партии;
требуемый результат изоляции;
используемые газы;
текущую производительность линии;
необходимость сохранённых рецептов.
Это позволит проверить держатель, размеры загрузки, MFC, насос и пригодность конфигурации для существующей линии.