PVA TePla 600 Autoload б/у — установка плазменного удаления фоторезиста

PVA TePla 600 Autoload — ВЧ-плазменная установка

PVA TePla 600 Autoload, также встречающаяся под обозначением Technics 600-AL, — полуавтоматическая вакуумная установка для обработки материалов в ВЧ-плазме.

Система работает на частоте 13,56 МГц. Основное назначение этой модели — удаление фоторезиста после фотолитографии или травления, очистка поверхности от органических остатков и подготовка пластин к следующей технологической операции.

Это не высокоселективная производственная RIE-система. Если требуется точное травление кремния, оксида или нитрида с контролем профиля, необходимо отдельно подтвердить конструкцию электродов, газовую систему, регулирование давления и наличие отработанного процесса.

Для каких процессов применяется TePla 600

Установка может использоваться для:

• плазменного удаления фоторезиста;

• удаления остатков резиста после проявления;

• очистки пластин после сухого травления;

• удаления органических загрязнений;

• обработки полиимида;

• активации поверхности перед нанесением плёнок;

• подготовки поверхности перед склеиванием или металлизацией;

• ограниченного плазменного травления при подходящей конфигурации.

Результат зависит от состава газа, мощности, давления, времени обработки и положения подложки в камере.

Какие материалы можно обрабатывать

При правильно подобранном процессе установка может работать с:

• кремниевыми пластинами;

• фоторезистом;

• полиимидом;

• органическими покрытиями;

• оксидом кремния;

• нитридом кремния;

• стеклом;

• керамикой;

• отдельными типами полимерных подложек.

Максимальный размер пластины зависит от установленного держателя и загрузочного механизма. Для рассматриваемой конфигурации указана обработка пластин диаметром до 200 мм.

Возможность травления неорганических материалов нельзя определять только по модели оборудования. Необходимо знать требуемую скорость травления, селективность, допустимый профиль и используемую газовую химию.

Технические параметры PVA TePla 600 Autoload

Наработка 1 731 час относится к конкретному предложению и должна подтверждаться по контроллеру оборудования или сервисным данным.

Чем отличаются конфигурации TePla 600

600 и 600 Autoload

Версия Autoload оснащается механизмом загрузки подложек, но это не всегда означает полностью автоматическую кассетную обработку. Количество ручных операций необходимо проверять на конкретной машине.

Размер подложки

Держатели могут быть рассчитаны на разные диаметры пластин или на отдельные детали. Наличие камеры подходящего размера не подтверждает совместимость с пластиной 200 мм без соответствующего держателя.

ВЧ-генератор и согласующее устройство

На установках разных лет могут отличаться модель генератора, максимальная мощность и согласующее устройство. Для рассматриваемой машины указан генератор ENI мощностью до 600 Вт.

Газовая система

Количество MFC, их диапазоны и материалы уплотнений зависят от установленной конфигурации. Наличие четырёх газовых линий не означает автоматическую совместимость с кислородом, аргоном или фторсодержащими газами.

Вакуумная система

Могут использоваться разные насосы и системы измерения давления. Для этой установки указан Leybold TRIVAC серии D65; точный индекс насоса необходимо проверить.

Данные для подбора оборудования

Чтобы проверить пригодность TePla 600 для вашего процесса, достаточно сообщить:

• материал и размер подложки;

• что необходимо удалить или обработать;

• используемые технологические газы;

• требуемую скорость процесса;

• допустимую температуру подложки;

• необходимую производительность;

• требования к автоматической загрузке.

После этого можно уточнить держатель, газовую систему, генератор, вакуумный насос и фактическую комплектацию машины.