1. Главная
  2. Оборудование
  3. Кристальное производство
  4. Метрология и инспекция

Контроль полупроводниковых пластин

Оборудование для метрологии и инспекции пластин б/у

Подбираем измерительные и инспекционные системы по контролируемому параметру, типу дефекта и этапу процесса. По каждой машине уточняем оптику или электронно-лучевую колонну, детекторы, stage, загрузку пластин, рабочие диапазоны, software, лицензии, калибровочные принадлежности и внешние data stations.

В предложении указываются фактическая комплектация, доступный уровень проверки, состояние до демонтажа, цена и срок подготовки. На поставляемое оборудование предоставляется гарантия 12 месяцев; диагностику, ремонт и техническое обслуживание выполняет наша инженерная команда.

Смотреть оборудованиеОтправить модель или ТЗ
KLA Surfscan SP2 — система инспекции поверхности пластин
Сначала определяем задачу контроляCD · OVERLAY · FILM · DEFECT INSPECTION · REVIEW · DATA
01 / ЗАДАЧАИзмерение параметра, поиск дефектов или их классификация
02 / КОНФИГУРАЦИЯИсточник, детекторы, stage, loader и software
03 / ПРОВЕРКАУровень теста и калибровочные данные фиксируются отдельно
04 / СЕРВИС12 месяцев гарантии и собственная инженерная команда

Доступные установки

Метрологическое и инспекционное оборудование б/у

Статус продажи, местонахождение, установленная конфигурация и доступный формат проверки подтверждаются на дату запроса. Паспортные характеристики модели не выдаются за результат теста конкретной машины.

Опубликованный каталог не ограничивает поиск. Если нужной модели нет на странице, пришлите производителя, полное обозначение и задачу контроля — мы проверим доступные предложения и фактическую конфигурацию.

Проверить модель

Четыре разные задачи

Какой тип системы требуется

Запрос «оборудование для контроля пластин» слишком широк. Правильная группа определяется тем, нужен ли числовой результат измерения, карта дефектов или изображение конкретного дефекта.

01 / DIMENSIONAL METROLOGY

CD-SEM и измерение overlay

Системы контроля критических размеров, профиля элементов и смещения между слоями. Для подбора указываются структура, диапазон измерений и место в технологическом маршруте.

Проверяем
Column, source, detectors, stage, autofocus и wafer handling
Уточняем
Repeatability, recipes, calibration и tool-to-tool matching
02 / FILM METROLOGY

Толщина и свойства тонких плёнок

Эллипсометрия, reflectometry и другие оптические методы для контроля толщины, показателя преломления и многослойных структур.

Проверяем
Оптическую конфигурацию, spectral range, stage и mapping
Уточняем
Материалы, диапазон толщин, модели расчёта и standard samples
03 / DEFECT INSPECTION

Поиск дефектов на пластине

Оптические и e-beam инспекционные системы для patterned или unpatterned wafer, поверхности, края либо обратной стороны.

Проверяем
Illumination, optics, sensors, stage, loader и vacuum
Уточняем
Тип дефекта, чувствительность, throughput и формат defect map
04 / DEFECT REVIEW

Review SEM и классификация дефектов

После обнаружения координаты передаются в review-систему для получения увеличенного изображения, анализа и классификации дефекта.

Проверяем
Electron column, detectors, navigation, stage и automation
Уточняем
Совместимость карт, ADR/ADC, data server и factory interface
ГРАНИЦА РАЗДЕЛА

Здесь находится оборудование для контроля пластин и процессов wafer fab. Установки, основной задачей которых является экспонирование, нанесение плёнок или планаризация CMP, размещаются в соответствующих технологических разделах.

Конфигурация конкретной машины

Что нужно сверить до покупки

У двух систем одной серии могут отличаться измерительный канал, wafer handling, программные опции и фабричные интерфейсы. Эти различия напрямую влияют на интеграцию и будущий результат.

  1. Объект контроляPatterned или bare wafer, материал подложки, размер и толщина пластин, слой процесса, структура и ожидаемый тип дефекта или измеряемый параметр.
  2. Метод и диапазонОптический или e-beam принцип, wavelength или landing energy, measurement range, field of view, режимы illumination и установленные detectors.
  3. Рабочие показателиSensitivity, accuracy, precision, repeatability и throughput сравниваются с задачей. Значения из brochure отделяются от доступного теста конкретной установки.
  4. Wafer handlingДиаметр пластин, cassette или FOUP, количество load ports, robot, aligner, notch recognition, edge exclusion и поддержка нестандартных подложек.
  5. КалибровкаУточняются reference wafer, calibration samples, fixtures, процедуры qualification, последняя известная калибровка и доступность сервисных материалов.
  6. Software и recipesВерсия system software, recipe editor, analysis modules, offline station, server, license files, dongle и возможность восстановления программной среды.
  7. Данные и интеграцияФормат карт и результатов, SECS/GEM, host communication, фабричная сеть, data management и совместимость с действующим маршрутом контроля.

Подтверждение состояния

Что вы получите по выбранной установке

Объём проверки зависит от текущего состояния и места хранения. Мы заранее разделяем то, что подтверждено документами, визуально, при включении и фактическим измерением.

01 · ИДЕНТИФИКАЦИЯ

Фото и данные машины

Актуальные фотографии, шильдик и серийный номер, местонахождение, дата доступности и последний известный производственный статус.

02 · КОМПЛЕКТАЦИЯ

Основные и внешние модули

Tool, loader, pumps, chillers, power units, computers, monitors, data stations, cables, fixtures, manuals и отсутствующие позиции.

03 · УРОВЕНЬ ТЕСТА

От power-on до измерения

Self-test, vacuum, stage motion, loader, source и detectors; measurement test, repeatability или defect scan — только если они реально доступны.

04 · УСЛОВИЯ

Цена, срок и гарантия

Стоимость согласованного комплекта, срок подготовки, упаковка, возможная поставка в Россию и гарантия 12 месяцев с технической поддержкой.

Важно: заводская спецификация подтверждает класс модели, но не фактическую точность б/у установки после демонтажа или хранения. Если для приёмки требуется test wafer, gauge R&R, repeatability, correlation либо определённый отчёт, это необходимо указать в заявке до расчёта.

Полная стоимость проекта

Цена измерительной системы — не единственная статья

  1. Hardware-комплектОсновной tool, источник, detectors, stage, loader, vacuum и внешние cabinets сверяются как единый рабочий комплект.
  2. Программная средаSystem disks, software version, recipes, licenses, dongles, offline station и data server могут иметь отдельную стоимость и ограничения совместимости.
  3. КалибровкаReference samples, test wafer, fixtures, сервисная процедура и квалификация после монтажа учитываются по требуемому уровню приёмки.
  4. ПлощадкаВибрация, температура, влажность, cleanroom class, питание, CDA, vacuum, cooling water и exhaust сверяются до отправки оборудования.
  5. Повторный запускМонтаж, восстановление, replacement parts, calibration и application support согласуются отдельно от цены машины.

Демонтаж и поставка

Точные узлы требуют точной упаковки

Метрологическое оборудование чувствительно к вибрации, загрязнению и неправильной фиксации. Комплектность и состояние должны сохраняться на всём маршруте от площадки продавца до места установки.

01 / ИНВЕНТАРИЗАЦИЯ

Tool и принадлежности

Фиксируются модули, компьютеры, диски, кабели, pumps, chillers, standards, fixtures, manuals и упаковочный состав.

02 / ПОДГОТОВКА

Парковка и фиксация

Stage, loader, electron column или optical head и другие подвижные либо чувствительные узлы переводятся в транспортное положение.

03 / УПАКОВКА

Защита от среды

Применяются барьерная упаковка, защита от влаги, маркировка shock/tilt и отдельная фиксация демонтированных компонентов.

04 / ЭКСПОРТ

Россия и ЕАЭС

Возможность поставки проверяется до заказа с учётом производителя, модели, происхождения, конечного пользователя и применения.

Запрос оборудования

Получить предложение по модели или задаче контроля

Укажите, что требуется измерять или обнаруживать. Мы проверим доступное оборудование и сообщим фактическую конфигурацию, состояние, формат проверки, стоимость и срок поставки.

Обсудить онлайн

Кнопка сформирует письмо на адрес smt-sales3@gdxinling.cn. Наличие, конфигурация, возможность поставки и срок резерва подтверждаются в ответном коммерческом предложении.

До оформления заказа

Вопросы о метрологии и инспекции б/у

Ответы по типам систем, конфигурации, software, калибровке, замене действующего оборудования и поставке.

В раздел входят CD-SEM и overlay-метрология, системы измерения толщины и свойств плёнок, оптическая инспекция patterned и unpatterned wafer, e-beam inspection, defect review SEM и отдельные системы контроля поверхности, края и обратной стороны пластины.

Метрология измеряет заданный параметр — критический размер, overlay, толщину, показатель преломления или профиль. Инспекция обнаруживает и локализует дефекты, а review-система получает увеличенное изображение и помогает классифицировать найденные дефекты.

Нужно указать измеряемый параметр или тип дефекта, patterned либо bare wafer, материал и диаметр пластины, необходимую чувствительность или повторяемость, производительность, способ загрузки, требования к SECS/GEM и допустимые модели.

В зависимости от состояния доступны актуальные фото, сверка комплектации, power-on, проверка вакуума, stage, loader, источника, детекторов, осей и self-test. Измерение стандартной или тестовой пластины, repeatability и calibration data указываются только при фактической доступности.

Не всегда. Версия ПО, recipe editor, offline station, data server, лицензии, dongle и factory interface проверяются отдельно. Их наличие фиксируется в спецификации конкретной машины до заказа.

Можно подобрать замену, но необходимо сопоставить hardware revision, конфигурацию источника и детекторов, wafer handling, software, recipes, data format, интерфейсы фабрики и требования площадки. Одного совпадения названия модели недостаточно.

Паспортная спецификация описывает возможности модели, но не подтверждает состояние конкретной б/у машины. Фактическая точность или repeatability считается подтверждённой только при наличии соответствующего теста, калибровочных данных или согласованной приёмки.

Возможность поставки в Россию или другую страну проверяется до заказа. Оптические и электронно-лучевые узлы, stage и автоматика подготавливаются к перевозке отдельно. На поставляемое оборудование предоставляется гарантия 12 месяцев и поддержка собственной инженерной команды.

Запросите систему по модели или задаче измерения

Пришлите полное обозначение оборудования либо укажите объект контроля, диаметр пластин, требуемые показатели и город назначения. Мы проверим доступный комплект, условия тестирования и поставки с гарантией 12 месяцев.

Заполнить запросНаписать по email