Печи и системы быстрого термического отжига
Подбираем диффузионные и окислительные печи, системы отжига, RTP и RTA по модели или заявке. По каждой установке проверяем фактический состав: технологические позиции, нагревательные зоны, кварцевый комплект, загрузку пластин, газовую часть, шкафы управления и снятую периферию.
В предложении указываются доступный объём проверки, состояние до демонтажа, условия упаковки и поставки. На поставляемое оборудование предоставляется гарантия 12 месяцев; диагностику, ремонт и техническое обслуживание выполняет наша инженерная команда.
Каталог оборудования
Статус продажи, конфигурация и доступный формат проверки подтверждаются на дату запроса. Откройте карточку модели или направьте полное обозначение нужной установки.
AG Associates Heatpulse 8108 б/у — однопластинная RTP-система для отжига, активации примеси, окисления и формирования силицидов на пластинах до 200 мм.
TEL ALPHA 8S б/у — вертикальная диффузионная печь для пластин 150 и 200 мм. Окисление, отжиг и процессы LPCVD в зависимости от конфигурации.
Горизонтальная диффузионная печь Thermco 5200 б/у с двумя–четырьмя трубами. Пластины до 150 мм, температура до 1350 °C. Подбор по процессу.
Если нужной модели нет в каталоге, укажите производителя, тип системы, размер пластин и срок закупки. Мы проверим доступные предложения и направим информацию по конкретной установке.
Отправить запросДва разных объекта покупки
Тип установки определяет не только формат обработки, но и состав оборудования, который необходимо проверить перед покупкой.
Многопозиционная печь рассматривается как комплект из технологических труб, нагревателей, загрузки, газовых панелей, вытяжки и управления. Цена главного корпуса без этих частей не показывает стоимость восстановления линии.
Для системы быстрого термического отжига отдельно проверяются камера, ламповый блок, пирометр или термопара, газовые линии, держатель пластины, охлаждение и версия управления.
Здесь собраны системы, основной задачей которых является окисление, диффузия, активация и отжиг. Печи, предназначенные прежде всего для LPCVD или ALD, размещаются в разделе оборудования для нанесения тонких плёнок.
Полная стоимость проекта
Две установки одной модели могут значительно отличаться по составу и затратам на повторный запуск. Поэтому предложение рассчитывается с учётом того, что уже входит в комплект и что потребуется докупить или восстановить.
Предложение по конкретной установке
По выбранной машине собираются материалы, которые позволяют сопоставить цену, комплектность, состояние и будущие расходы до оформления заказа.
Фотографии установки и шильдиков, серийный номер, текущее местонахождение и подтверждение доступности на дату предложения.
Перечень включённых труб или камер, кварцевых деталей, загрузки, шкафов и периферии, а также список отсутствующих элементов.
Последний известный производственный статус и доступные результаты осмотра, видео, power-on, проверки нагревательных зон или температурных данных.
Стоимость согласованного комплекта, срок готовности, упаковка, возможная поставка в Россию и гарантия 12 месяцев с технической поддержкой.
Для замены действующей печи пришлите фотографию шильдика, обозначение контроллера и краткое описание установленной конфигурации. Мы сопоставим доступное оборудование с вашей линией и отдельно укажем, какие модули и подключения потребуют изменения.
Поставка в Россию и ЕАЭС
Запрос оборудования
Укажите тип системы и основные данные проекта. Мы проверим доступность оборудования и сообщим фактическую конфигурацию, состояние, возможный формат проверки, стоимость и срок поставки.
До оформления заказа
Ответы по типам оборудования, рабочим позициям, кварцевой оснастке, состоянию и поставке.
Можно запросить вертикальные и горизонтальные диффузионные печи, системы окисления и отжига, печи пакетной обработки (batch furnace), а также установки быстрого термического отжига RTP и RTA. Наличие и конфигурация подтверждаются по конкретной машине.
Проверяются актуальные фотографии, шильдики модулей, комплектовочная ведомость и данные демонтажа. Для многотрубной печи отдельно указываются назначение и состояние каждой технологической позиции.
Кварцевый комплект сверяется отдельно: трубы, лодочки, пьедесталы, кассеты и запасные детали могут храниться отдельно или не входить в базовую цену. Состав фиксируется в спецификации до заказа.
В зависимости от состояния доступны осмотр, power-on, проверка управления, interlock, приводов и нагревательных зон. Температурный тест или калибровочные данные считаются отдельным уровнем подтверждения и указываются в предложении.
Предыдущие газы и материалы влияют на пригодность камеры, кварцевых деталей и газовой части для нового процесса. Известная история применения указывается отдельно; отсутствие подтверждённых данных также отмечается в предложении.
Возможность поставки в Россию или другую страну проверяется до заказа. Секции маркируются и упаковываются с учётом хрупких кварцевых деталей. На поставляемое оборудование предоставляется гарантия 12 месяцев и техническая поддержка собственной инженерной команды.
Пришлите полное обозначение оборудования, размер пластин, требуемый комплект и город назначения. Мы проверим доступную установку, состав секций, условия проверки и поставки с гарантией 12 месяцев.