Thermco 5200 — горизонтальная многотрубная печь для термической обработки полупроводниковых пластин диаметром до 150 мм. Платформа может комплектоваться двумя, тремя или четырьмя независимыми технологическими трубами.
Одна система может использоваться для нескольких процессов, однако назначение каждой трубы определяется её материалом, газовой системой, рабочим давлением и историей эксплуатации.
Какие процессы выполняет Thermco 5200
Печь рассчитана на длительную пакетную обработку пластин при контролируемой температуре и заданной газовой атмосфере. Пластины устанавливаются в кварцевую лодку и загружаются в технологическую трубу.
В зависимости от комплектации Thermco 5200 может применяться для следующих процессов:
сухое термическое окисление кремния;
влажное окисление;
диффузия легирующей примеси;
высокотемпературная разгонка примеси;
отжиг в азоте или формовочном газе;
термическая обработка после имплантации;
осаждение поликремния, нитрида кремния, TEOS или LTO при наличии соответствующей LPCVD-конфигурации.
Возможность выполнения LPCVD-процесса нельзя определять только по названию Thermco 5200. Для этого необходимы подходящая технологическая труба, вакуумная система, газовые линии, контроль давления и система очистки выхлопа.
Какие материалы и изделия можно обрабатывать
Платформа применяется для обработки кремниевых пластин и совместимых подложек диаметром до 150 мм. Возможные области использования:
дискретные диоды и транзисторы;
силовые полупроводниковые приборы;
аналоговые и специализированные микросхемы;
MEMS-компоненты и датчики;
фотоэлектрические структуры;
исследовательские и опытно-производственные процессы.
Допустимый материал подложки необходимо согласовывать с температурным режимом, материалом трубы и требованиями по загрязнению.
Основные технические характеристики
| Производитель | Thermco Systems |
|---|
| Модель | 5200 |
|---|
| Тип оборудования | Горизонтальная многотрубная диффузионная печь |
|---|
| Максимальный размер пластин | До 150 мм |
|---|
| Количество технологических труб | От 2 до 4, в зависимости от комплектации |
|---|
| Температурный диапазон платформы | Примерно 200–1350 °C, в зависимости от нагревателя и процесса |
|---|
| Максимальная длина равномерной зоны | До 1100 мм |
|---|
| Количество зон нагрева | 3 независимо регулируемые зоны |
|---|
| Скорость нагрева | До 25 °C/мин при наличии опции быстрого нагрева |
|---|
| Скорость охлаждения | До 20 °C/мин при наличии соответствующей опции |
|---|
| Загрузка пластин | Ручная, полуавтоматическая или автоматизированная — зависит от установленного загрузчика |
|---|
| Система управления | Контроллер Thermco; версия аппаратного и программного обеспечения требует подтверждения |
|---|
Диапазон до 1350 °C относится к возможностям платформы. Фактическая максимальная температура конкретной трубы зависит от нагревателя, термопар, материала трубы и её технологического назначения.
Чем отличаются конфигурации Thermco 5200
Две печи Thermco 5200 могут иметь разное количество труб и совершенно разное технологическое назначение. Поэтому при выборе оборудования необходимо проверять каждую трубу отдельно.
количество установленных печных модулей;
размер, материал и состояние технологических труб;
назначение каждой трубы: окисление, диффузия, отжиг или LPCVD;
температурный диапазон и тип нагревателя;
наличие системы влажного окисления и парогенератора;
состав газовых панелей и диапазоны MFC;
наличие вакуумных насосов и контроля давления;
система загрузки лодок;
кварцевые лодки, инжекторы, двери и другая оснастка;
система отвода и очистки технологических газов;
версия контроллера и доступные рецепты.
Что проверить у подержанной печи
В первую очередь необходимо осмотреть нагреватели, термопары, изоляцию, загрузочные механизмы и газовые панели. На кварцевых трубах, лодках и инжекторах не должно быть трещин и механических повреждений.
Также важно запросить температурный профиль по зонам, историю процессов каждой трубы и список оборудования, входящего в поставку. Если печь демонтирована, отдельно проверяется наличие контроллеров, газовых шкафов, насосов, скруббера, теплообменника и комплектов кабелей.
Какие данные нужны для подбора
В запросе укажите размер пластин, требуемый процесс, рабочую температуру, используемые газы, количество пластин в партии и необходимое количество технологических труб.
Для пластин диаметром 200 мм и автоматизированной вертикальной загрузки можно рассмотреть вертикальную печь TEL ALPHA 8S. Если нужен короткий однопластинный отжиг с быстрым нагревом и охлаждением, подходит система AG Associates Heatpulse 8108 RTP.
Другие печи и системы отжига представлены в разделе оборудования для термической обработки пластин.