TEL ALPHA 8S — вертикальная система пакетной термической обработки полупроводниковых пластин диаметром 150 и 200 мм. Платформа применяется для окисления, отжига и других высокотемпературных процессов.
Вертикальная конструкция обеспечивает пакетную обработку пластин в контролируемой атмосфере и занимает меньше производственной площади по сравнению с традиционными горизонтальными многотрубными печами.
Для каких процессов используется TEL ALPHA 8S
Пластины устанавливаются в вертикальную кварцевую лодку, после чего загрузчик перемещает партию в технологическую трубу. Температура и подача газов регулируются по заданному рецепту.
В зависимости от установленной трубы и газовой системы ALPHA 8S может использоваться для:
сухого окисления кремния;
влажного окисления;
термического отжига;
активации примеси после ионной имплантации;
термической диффузии;
отжига в азоте или формовочном газе;
отдельных LPCVD-процессов при соответствующей комплектации.
Каждая подержанная ALPHA 8S должна рассматриваться как машина с определённым процессным исполнением. Установка для окисления не становится LPCVD-печью без замены трубы, газовой панели, системы давления и другого технологического оборудования.
Какие пластины и изделия можно обрабатывать
TEL ALPHA 8S подходит для пакетной обработки кремниевых пластин диаметром 150 и 200 мм. Фактический размер определяется установленной лодкой, загрузочным механизмом и кассетной системой.
Печь может использоваться при производстве:
интегральных схем на пластинах 150 и 200 мм;
силовых и дискретных полупроводниковых приборов;
MOS- и CMOS-структур;
MEMS-устройств и датчиков;
аналоговых микросхем;
специализированных кремниевых компонентов.
Для процесса активации примеси печь может использоваться после обработки на ионном имплантере. Требуемый температурный цикл должен соответствовать допустимому тепловому бюджету изделия.
Основные технические характеристики
| Производитель | Tokyo Electron Limited |
|---|
| Бренд | TEL |
|---|
| Модель | ALPHA 8S |
|---|
| Тип оборудования | Вертикальная диффузионная печь пакетной обработки |
|---|
| Размер пластин | 150 или 200 мм, в зависимости от комплектации |
|---|
| Метод обработки | Пакетная термическая обработка в вертикальной технологической трубе |
|---|
| Основные процессы | Сухое и влажное окисление, отжиг, диффузия |
|---|
| Дополнительные процессы | Отдельные LPCVD-процессы при наличии соответствующей конфигурации |
|---|
| Загрузка пластин | Вертикальный загрузчик с кварцевой лодкой |
|---|
| Рабочая атмосфера | Определяется установленной газовой панелью и назначением трубы |
|---|
| Управление процессом | Автоматическое выполнение рецептов; версия контроллера и ПО зависит от конкретной машины |
|---|
| Температурный диапазон | Должен подтверждаться по установленному нагревателю, термопарам и процессной спецификации |
|---|
Для ALPHA 8S нельзя указывать универсальную температуру, производительность или количество пластин без проверки конкретной комплектации. Эти значения зависят от процесса, лодки, размера пластин и конфигурации печного модуля.
Чем отличаются конфигурации TEL ALPHA 8S
Основное различие между установками заключается в назначении технологической трубы. Конфигурация для влажного окисления имеет другой состав вспомогательного оборудования, чем система для отжига или LPCVD.
Перед заказом необходимо уточнить:
размер пластин — 150 или 200 мм;
назначение установленной технологической трубы;
материал и состояние трубы;
тип нагревателя и число температурных зон;
размер и вместимость кварцевой лодки;
наличие парогенератора для влажного окисления;
состав газовой панели и диапазоны MFC;
наличие контроля давления и вакуумной системы;
состояние вертикального загрузчика;
кассетную систему и автоматизацию передачи пластин;
конфигурацию выхлопа и газоочистки;
управляющий компьютер, программное обеспечение и рецепты.
Что проверить перед покупкой
Для подержанной вертикальной печи критичны состояние нагревателя, кварцевой трубы, лодки и механизма загрузки. Необходимо проверить плавность движения загрузчика, состояние уплотнений, работу температурных контроллеров и равномерность нагрева.
Следует запросить историю последнего процесса, температурный профиль, список используемых газов и фотографии внутренних технологических деталей. Остаточные загрязнения в трубе могут ограничить её использование для другого материала или класса изделий.
Если оборудование уже демонтировано, проверяется наличие газовых панелей, насосов, парогенератора, контроллера, системы охлаждения, выхлопного оборудования, кабелей и оригинальной оснастки.
Какие данные нужны для подбора
Для подбора TEL ALPHA 8S укажите размер пластин, требуемый процесс, максимальную рабочую температуру, состав газов, количество пластин в партии и требования к автоматизации загрузки.
Если требуется горизонтальная печь с несколькими независимыми трубами для пластин до 150 мм, рассмотрите Thermco 5200. Для коротких однопластинных циклов лучше подходит AG Associates Heatpulse 8108 RTP.
Другие модели доступны в разделе оборудования для термической обработки полупроводниковых пластин.