TEL MARK Vz — автоматическая трек-система Tokyo Electron для нанесения и проявления фоторезиста. Доступная конфигурация предназначена для обработки полупроводниковых пластин диаметром 150 мм.
Установка объединяет модули нанесения фоторезиста, проявления и автоматического перемещения пластин. В состав системы также могут входить горячие и охлаждающие плиты, химический шкаф и оборудование поддержания требуемых условий процесса.
Назначение TEL MARK Vz
TEL MARK Vz используется на фотолитографическом участке для подготовки пластины к экспонированию и последующего проявления рисунка.
Система может выполнять следующие операции:
нанесение фоторезиста на пластину;
вращение пластины для получения равномерного покрытия;
термообработку после нанесения;
проявление фоторезиста после экспонирования;
промывку и сушку пластины;
автоматическое перемещение пластин между модулями.
Установка подходит для производства полупроводниковых приборов, MEMS, датчиков и других изделий, выпускаемых на пластинах диаметром 150 мм.
Основные характеристики TEL MARK Vz
| Параметр | Значение |
|---|
| Производитель | Tokyo Electron Limited |
| Марка | TEL |
| Модель | MARK Vz |
| Тип оборудования | Трек-система нанесения и проявления фоторезиста |
| Диаметр пластин | 150 мм |
| Указанная конфигурация | 2C и 2D |
| Количество модулей нанесения | 2 |
| Количество модулей проявления | 2 |
| Основной процесс | Нанесение и проявление фоторезиста |
| Область применения | Фотолитография |
| Состояние | Бывшее в эксплуатации |
| Наличие | Уточняется по запросу |
Состав установки
Для TEL MARK Vz указана конфигурация с двумя модулями нанесения и двумя модулями проявления. Фактический состав поставки конкретной машины может отличаться.
В комплект могут входить:
основной технологический модуль;
кассетные станции;
система перемещения пластин;
горячие и охлаждающие плиты;
химический шкаф;
шкаф кондиционирования;
контроллер и управляющий компьютер.
Наличие каждого блока необходимо подтверждать по фотографиям и комплектовочной ведомости.
Проверка перед поставкой
Перед подготовкой предложения проверяются:
серийный номер оборудования;
конфигурация технологических модулей;
состояние робота и кассетных станций;
работа модулей нанесения и проявления;
состояние горячих и охлаждающих плит;
химические линии и шкаф подачи реагентов;
вытяжные и технологические подключения;
состояние программного обеспечения;
возможность проверки установки под питанием.
Запрос на TEL MARK Vz
Для подбора установки сообщите диаметр пластин, используемый фоторезист, тип проявителя и требуемую конфигурацию процесса.
Мы уточним наличие TEL MARK Vz, состав оборудования, техническое состояние и условия поставки.