TEL MARK 8 производства Tokyo Electron — автоматическая трек-система для работы с фоторезистом в процессе фотолитографии. Оборудование предназначено для обработки полупроводниковых пластин диаметром 150 и 200 мм.
Система выполняет две основные операции: наносит фоторезист на поверхность пластины перед экспонированием и проявляет сформированный рисунок после экспонирования. В зависимости от комплектации установка также может включать горячие и охлаждающие плиты, станции загрузки кассет и систему подачи химических реагентов.
Для каких процессов используется TEL MARK 8
TEL MARK 8 может применяться для:
нанесения фоторезиста методом центрифугирования;
проявления фоторезиста после экспонирования;
предварительного нагрева и сушки пластин;
охлаждения пластин между технологическими операциями;
обработки пластин в линиях производства микросхем, дискретных компонентов и MEMS.
Оборудование можно использовать как отдельную трек-систему либо совместно со степпером или другим фотолитографическим оборудованием. Совместимость интерфейсов необходимо проверять для конкретной производственной линии.
Основные характеристики TEL MARK 8
| Параметр | Значение |
|---|
| Производитель | Tokyo Electron Limited |
| Марка | TEL |
| Модель | MARK 8 |
| Тип оборудования | Трек-система нанесения и проявления фоторезиста |
| Диаметр пластин | 150 и 200 мм |
| Указанная конфигурация | 2C+2D |
| Модули C | Нанесение фоторезиста |
| Модули D | Проявление фоторезиста |
| Основной процесс | Нанесение и проявление фоторезиста |
| Область применения | Фотолитография |
| Состояние | Бывшее в эксплуатации |
| Наличие | Уточняется по запросу |
Комплектация оборудования
Для доступной установки указана конфигурация 2C+2D. Это означает наличие модулей нанесения и проявления, однако фактический состав конкретной машины необходимо проверять отдельно.
Перед оформлением предложения мы уточняем:
диаметр обрабатываемых пластин;
количество модулей нанесения и проявления;
наличие горячих и охлаждающих плит;
состояние робота и системы перемещения пластин;
комплектацию химического шкафа;
состояние управляющего компьютера и программного обеспечения;
возможность включения и проведения проверки оборудования;
полный состав поставки.
Запрос на TEL MARK 8
Для подбора TEL MARK 8 сообщите диаметр пластин, используемый фоторезист, требуемую конфигурацию модулей и модель экспонирующего оборудования.
Мы предоставим доступные фотографии, состав установки, результаты проверки и коммерческое предложение.