DISCO DGP8761 объединяет шлифовку обратной стороны и финишную обработку полупроводниковых пластин в одной установке. После чернового и чистового шлифования пластина поступает на третью позицию Z3, где выполняется полировка или дополнительная тонкая шлифовка — в зависимости от комплектации.
Такую машину имеет смысл выбирать, когда важны не только конечная толщина, но и прочность тонкого кристалла после обработки. Удаление повреждённого при шлифовании поверхностного слоя помогает уменьшить риск разрушения на последующих операциях. Объединение этапов также сокращает количество переносов хрупкой пластины между отдельными установками.
Ключевое различие между подержанными DGP8761 — исполнение позиции Z3. Сухая полировка, CMP и обработка инструментом Poligrind или UltraPoligrind требуют разной оснастки. Поэтому при сравнении предложений мы рекомендуем сначала уточнить требуемую финишную операцию: одинаковое название машины не означает одинаковый состав оборудования.
Для приёмки полезно согласовать не только толщину и её разброс, но и состояние обратной поверхности, кромки и прочность кристаллов. Если планируется работа со сверхтонкими пластинами, результат следует подтверждать на образцах с нужной защитной лентой и схемой транспортировки. Возможность платформы обрабатывать толщины менее 25 мкм не является универсальной гарантией для любого изделия.
Преимущества совмещённой обработки
Три последовательные операции без передачи пластины на отдельный полировальный станок.
Выбор финишной обработки под требования к поверхности и прочности кристалла.
Сухая полировка на позиции Z3 не требует воды и химических реагентов непосредственно на этом этапе.
Технические характеристики DGP8761
| Производитель | DISCO |
|---|
| Модель | DGP8761 |
|---|
| Диаметр пластин | 200 и 300 мм, при соответствующей оснастке |
|---|
| Количество рабочих осей | 3: Z1, Z2 и Z3 |
|---|
| Количество вакуумных столов | 4 |
|---|
| Обработка на Z1 / Z2 | Черновое и чистовое врезное шлифование |
|---|
| Исполнения Z3 | Сухая полировка; опционально CMP, Poligrind или UltraPoligrind |
|---|
| Алмазный шлифовальный круг | Диаметр 300 мм |
|---|
| Полировальный инструмент DP / CMP | Диаметр 450 мм |
|---|
| Габариты с открытыми кассетами, Ш × Г × В | 1 690 × 3 315 × 1 800 мм |
|---|
| Габариты с FOUP, Ш × Г × В | 1 690 × 3 452 × 1 800 мм |
|---|
| Масса | Около 6 700 кг для DP/Poligrind; около 6 900 кг для CMP |
|---|
В запросе укажите конечную толщину и требуемый способ финишной обработки. Если полировка уже выполняется на отдельном участке, можно рассмотреть двухшпиндельную DISCO DFG8560. Подготовка пластины к утонению начинается с подбора оборудования для нанесения защитной плёнки.