DISCO DFG8541 — полностью автоматическая установка для шлифовки обратной стороны полупроводниковых пластин диаметром до 200 мм. Два шпинделя выполняют последовательную обработку, а три вакуумных стола обеспечивают перемещение пластин между рабочими позициями. Машина подходит для подготовки кремниевых пластин к последующей сборке и корпусированию.
Эту модель стоит рассмотреть для производства, где используются несколько диаметров пластин. Универсальный вакуумный стол позволяет работать с форматами 4, 5, 6 и 8 дюймов при соответствующей оснастке. Для обработки SiC и других твёрдых материалов предусмотрен опциональный шпиндель с повышенным крутящим моментом.
При выборе подержанной DFG8541 мы обращаем внимание на исполнение шпинделей и установленный стол. Машина, ранее работавшая с кремнием, не обязательно укомплектована под требуемый процесс SiC. Совместимость следует оценивать вместе с типом шлифовального круга, объёмом съёма и требуемой конечной толщиной.
Для оценки состояния важен результат пробной шлифовки: разброс толщины по пластине, состояние кромки и следы обработки на обратной стороне. Эти данные помогают определить, достаточно ли настройки и замены расходных материалов или потребуется восстановление шпинделя и рабочей поверхности стола.
Преимущества DFG8541
Работа с несколькими диаметрами пластин при наличии универсального стола.
Бесконтактное центрирование с помощью камеры уменьшает механический контакт с пластиной.
Электрическая точная регулировка позволяет корректировать профиль толщины через интерфейс управления.
Технические характеристики
| Производитель | DISCO |
|---|
| Модель | DFG8541 |
|---|
| Максимальный диаметр пластины | 200 мм / 8 дюймов |
|---|
| Форматы с универсальным столом | 4, 5, 6 и 8 дюймов |
|---|
| Количество шпинделей | 2 |
|---|
| Количество вакуумных столов | 3 |
|---|
| Метод обработки | Врезное шлифование с вращением пластины |
|---|
| Шлифовальный круг | Алмазный, диаметром 200 мм |
|---|
| Номинальная мощность шпинделя | 4,2 кВт, стандартное исполнение |
|---|
| Частота вращения шпинделя | 1 000–7 000 об/мин |
|---|
| Габариты, Ш × Г × В | 1 100 × 2 800 × 1 800 мм |
|---|
| Масса | Около 3 000 кг |
|---|
Для подбора сообщите материал, диаметр, исходную и конечную толщину пластин. Перед шлифовкой может потребоваться нанесение защитной плёнки. Если производство работает с пластинами 300 мм, рассмотрите DISCO DFG8560.