DISCO DFG8560 — установка утонения пластин 300 мм

DISCO DFG8560 — автоматическая двухшпиндельная установка для уменьшения толщины полупроводниковых пластин диаметром 300 мм. Черновое шлифование снимает основной объём материала, а чистовая обработка формирует требуемую толщину и качество обратной поверхности.

Модель можно рекомендовать для расширения участка утонения кремниевых пластин, когда основной задачей является стабильная шлифовка в автоматическом цикле. Платформа рассчитана в том числе на обработку до толщины менее 100 мкм, но достижимый результат зависит от пластины, защитной ленты, оснастки и рецепта.

Для предприятий, уже использующих оборудование DISCO серии 800, дополнительный интерес представляет совместимость ряда узлов и расходных материалов. Она может упростить обслуживание, однако перед покупкой необходимо сопоставить конкретные номера шпинделей, столов и инструмента. Поддержка пластин 200 мм требует универсального стола и соответствующих деталей транспортировки.

При подборе подержанной DFG8560 мы рекомендуем проверить весь цикл работы с тонкой пластиной — от загрузки до очистки и возврата в кассету. Хороший результат шлифовки недостаточен, если при снятии со стола или переносе появляются сколы. Для маршрута DBG отдельно подтверждаются оснастка и настройки обработки предварительно надрезанных пластин.

Что удобно в эксплуатации

• Черновое и чистовое шлифование выполняются на одной автоматической платформе.

• Возможна интеграция в маршрут DBG — резка перед шлифованием.

• При необходимости последующего снятия повреждённого слоя предусмотрена возможность работы в линии с отдельной установкой финишной обработки.

Параметры DISCO DFG8560

Если после утонения требуется полировка в той же машине, сравните эту модель с DISCO DGP8761. Другие решения представлены в разделе шлифовки и утонения пластин.