Panasonic PSX307 для подготовки контактных площадок и подложек
Panasonic PSX307 — установка плазменной очистки с автоматической транспортировкой подложек. В камере с параллельными электродами поверхность обрабатывается высокочастотной плазмой. Оборудование применяют в микроэлектронной сборке, когда загрязнение контактных площадок или состояние поверхности мешают получить стабильное соединение.
Одна из характерных задач PSX307 — подготовка площадок с тонким золотым покрытием перед микросваркой выводов. После термообработки на такой поверхности могут появляться соединения никеля, ухудшающие свариваемость. Аргоновая плазма позволяет удалить этот поверхностный слой при правильно подобранном режиме.
При наличии кислородной опции установка также используется для активации поверхности перед нанесением компаунда или заполнением зазора материалом underfill. Выбор газа зависит от открытых металлов, полимеров и чувствительности изделия. Результат следует оценивать по прочности соединения или смачиваемости, а не только по внешнему виду обработанной подложки.
У PSX307 б/у необходимо уточнить исполнение транспортной системы, комплект загрузки и выгрузки, а также состав газового блока. Машины с транспортом S и M отличаются габаритами и массой. Для действующей линии дополнительно важны направление движения изделий и допустимый интервал между очисткой и следующей операцией.
Преимущества для сборочного участка
Автоматическая подача подложек для последовательной обработки в производственном потоке.
Аргоновая очистка контактных площадок с тонким золотым покрытием.
Контроль плазменного разряда для обнаружения и подавления нештатных разрядов.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|
| Модель | Panasonic PSX307 |
| Обозначение исполнения | NM-EFP1A |
| Метод очистки | ВЧ-плазменное распыление, параллельные электроды |
| Рабочий газ | Аргон; кислород — опция |
| Электропитание | Однофазное, 200 В AC |
| Указанная потребляемая мощность | 2,00 кВА; при полной нагрузке — 5,00 кВА |
| Сжатый воздух | От 0,49 МПа; 6,5 л/мин в нормальных условиях |
| Базовые габариты, Ш × Г × В | 930 × 1 100 × 1 450 мм |
| Базовая масса | 555 кг |
| Исполнение S с загрузчиком и разгрузчиком | 2 113 × 1 100 × 1 450 мм; 850 кг |
Данные относятся к указанному исполнению PSX307. Габариты не включают сенсорную панель и сигнальную колонну. Кислородная опция требует подачи азота для разбавления отводимых газов.
Для подбора оборудования отправьте размеры подложки, материал контактных площадок и описание следующей операции. Фотография действующей транспортной системы поможет согласовать комплектацию.