Nordson MARCH AP-600 для обработки компонентов в носителях
Nordson MARCH AP-600 — вакуумная установка для пакетной плазменной очистки и активации поверхностей. Камера объёмом 50,4 л и рабочая площадь активного электрода 330 × 330 мм позволяют размещать сравнительно крупные носители или несколько изделий в одной загрузке. Допустимая компоновка зависит от высоты деталей и необходимого воздействия на поверхность.
В полупроводниковой сборке AP-600 применяют для подготовки компонентов и подложек перед операциями, требующими хорошей адгезии. Например, обработку перед формованием корпусов рассматривают, если недостаточное сцепление компаунда связано с состоянием поверхности. Эффективность подтверждают на реальном сочетании подложки, металлизации и формовочного материала.
Возможность менять положение и подключение электродов помогает адаптировать обработку к различным изделиям. Однако увеличение числа деталей в камере не должно ухудшать доступ активных частиц к нужным участкам. Для серийного процесса важно оценить результат в разных точках загрузки, включая наиболее затенённые поверхности.
На вторичном рынке у AP-600 следует сравнивать не только мощность генератора, но и состояние камеры, полок, газовых линий и насоса. Отложения от предыдущего процесса могут стать источником загрязнения. Масляный и сухой насосы, число газовых каналов и диапазоны расхода также входят в перечень существенных различий комплектации.
Преимущества для пакетной обработки
Рабочая площадь электрода 330 × 330 мм для размещения носителей и групп деталей.
Несколько схем подключения электродов для настройки условий обработки.
ВЧ-генератор и система управления размещены в одном корпусе; насос устанавливается отдельно.
Технические характеристики AP-600
| Параметр | Значение |
|---|
| Модель | Nordson MARCH AP-600 |
| Максимальный объём камеры | 50,4 л |
| Стандартная мощность ВЧ-генератора | 600 Вт |
| Частота | 13,56 МГц |
| Рабочая площадь активного электрода | 330 × 330 мм |
| Рабочая площадь заземлённого перфорированного электрода | 368 × 330 мм |
| Позиции электродов / шаг | 7 / 25,4 мм |
| Регуляторы расхода газа | 2 стандартно; до 3 по спецификации 2024 года |
| Габариты корпуса, Ш × Г × В | 569 × 869 × 704 мм |
| Масса нетто | 221 кг |
Данные относятся к техническому листу AP-600 2024 года. У более ранних машин газовый блок и система управления могут отличаться. Рабочая площадь электрода не определяет автоматически максимальный размер изделия вместе с держателем.
Для подбора AP-600 пришлите чертёж или фотографию загрузки, размеры носителей и требуемый объём обработки за смену. Это позволит оценить вместимость камеры и подходящую конфигурацию электродов.