Nordson MARCH AP-300 для обработки небольших партий изделий
Nordson MARCH AP-300 — настольная вакуумная установка плазменной очистки и активации поверхности. Изделия загружаются в камеру партией на полках или подходящих носителях. Такая организация удобна для участка, где меняются типы подложек и компонентов, а непрерывная автоматическая подача не требуется.
В микроэлектронике AP-300 используют для подготовки поверхностей перед соединением, нанесением клея и герметизацией. В камеру можно размещать детали, лотки и другие носители, соответствующие рабочей зоне. При этом материал держателя и плотность загрузки влияют на доступ плазмы к обрабатываемым поверхностям.
Модель представляет интерес для отработки режимов и выпуска смешанной номенклатуры. Например, перед монтажом кристаллов можно оценить, улучшает ли обработка смачивание поверхности выбранным клеем. Газ, мощность и длительность подбираются под загрязнение и материал, а не переносятся без проверки с другого изделия.
При покупке AP-300 б/у важно проверить комплект электродов, диапазоны регуляторов расхода газа и тип внешнего вакуумного насоса. Одинаковая камера не означает одинаковый процесс: разные схемы электродов и расположение изделий меняют условия воздействия. Для повторяемого результата необходимо сохранять согласованную схему загрузки.
Особенности AP-300
Сменные полки позволяют приспособить камеру к разным деталям и носителям.
Автоматическое согласование ВЧ-генератора с нагрузкой.
Контроль параметров процесса через сенсорный интерфейс.
Основные параметры
| Параметр | Значение |
|---|
| Модель | Nordson MARCH AP-300 |
| Тип обработки | Пакетная обработка в вакуумной камере |
| Максимальный объём камеры | 33,1 л |
| Стандартная мощность ВЧ-генератора | 300 Вт |
| Частота | 13,56 МГц |
| Рабочая площадь активного электрода | 190 × 330 мм |
| Количество позиций электродов | 7 |
| Шаг установки электродов | 25,4 мм |
| Регуляторы расхода газа | 2 стандартно; до 4 по спецификации 2015 года |
| Вакуумный насос | Внешний; тип и комплектность уточняются |
Параметры приведены по техническому листу AP-300 2015 года. Семь позиций электродов не означают семь доступных уровней загрузки: их число зависит от схемы электродов и высоты изделий.
Для оценки AP-300 укажите размеры носителя, высоту деталей и количество изделий в партии. Также сообщите, требуется удаление загрязнений или улучшение смачивания и адгезии.