TEL CELLESTA-i MD — система очистки пластин со сформированными структурами

TEL CELLESTA-i MD — система поштучной очистки пластин диаметром 300 мм, предназначенная в том числе для поверхностей с тонкими сформированными структурами. Её рассматривают для операций, где необходимо удалить частицы, сохранив элементы рисунка и состояние поверхности.

Особое внимание в этой модели уделено сушке. Управление атмосферой камеры и подачей изопропилового спирта помогает уменьшить риск слипания и разрушения тонких элементов при удалении жидкости. Для таких изделий качество сушки может быть столь же важным, как эффективность самой очистки.

Подержанную CELLESTA-i MD имеет смысл подбирать по требованиям к структуре: её материалу, геометрии и допустимому повреждению. При оценке комплектации важны исполнение камеры, система подачи IPA и доступные режимы сушки. Возможности других моделей семейства CELLESTA нельзя автоматически переносить на конкретную i MD.

Для решения о покупке мы рекомендуем сравнивать состояние поверхности до и после обработки на образцах заказчика. Проверка должна показать не только удаление частиц, но и сохранность рисунка. Такой результат даёт больше оснований для выбора машины, чем запись её работы без технологической нагрузки.

Что даёт эта конфигурация

• Очистка с учётом чувствительности сформированных элементов к повреждению.

• Контроль условий сушки через атмосферу камеры и подачу IPA.

• Возможность подбирать режим обработки под конкретную поверхность пластины.

Параметры TEL CELLESTA-i MD

В запросе укажите материал поверхности, размеры структур и требования к дефектности. Для контроля частиц на непаттернированных тестовых пластинах можно дополнительно рассмотреть KLA Surfscan SP2. Другие установки доступны в разделе очистки пластин.