SEMES BLUEICE PRIME — автоматическая установка поштучной жидкостной очистки пластин диаметром 300 мм. Она предназначена для технологических операций при изготовлении логических микросхем и памяти. Возможность удаления конкретных загрязнений определяется химическим процессом и комплектацией камер.
Мы рекомендуем рассматривать эту модель прежде всего при поиске оборудования под уже определённую химическую последовательность или для дополнения действующей линии SEMES. В таком проекте важны совместимость с используемыми реагентами, доступность оснастки и возможность переноса рабочего процесса.
У подержанной BLUEICE PRIME необходимо отдельно оценить состояние узлов, контактирующих с химикатами. Отложения в трубопроводах, износ клапанов и состояние нагревательных контуров могут существенно повлиять на стоимость восстановления. Если требуется обработка горячей фосфорной кислотой, соответствующее исполнение камер и системы подачи должно быть подтверждено документацией конкретной машины.
При сравнении цены мы советуем учитывать весь комплект поставки: основной корпус, химические модули, управляющий компьютер и документацию по подключению. Низкая стоимость неполной установки может потерять смысл, если для запуска потребуется заново комплектовать подачу реагентов или восстанавливать программное обеспечение.
Когда стоит рассмотреть BLUEICE PRIME
Для добавления поштучной обработки на производственную линию 300 мм.
Для замены машины с близкой химической и аппаратной конфигурацией.
Для процесса, которому требуется индивидуальная настройка обработки каждой пластины.
Основные характеристики
| Производитель | SEMES |
|---|
| Модель | BLUEICE PRIME |
|---|
| Диаметр пластин | 300 мм |
|---|
| Архитектура процесса | Поштучная обработка |
|---|
| Назначение | Жидкостная очистка при производстве полупроводниковых приборов |
|---|
| Автоматизация | Автоматическая система |
|---|
| Химическое исполнение | Подтверждается по камерам и установленным линиям реагентов |
|---|
| Температура, расход реагентов и производительность | По спецификации конкретной комплектации и рабочего процесса |
|---|
Для подготовки предложения пришлите состав химического процесса и требования к температуре обработки. Если приоритетом является расширение пропускной способности линии, сравните комплектацию с SCREEN SU-3200. Остальные модели представлены в разделе установок очистки пластин.