SCREEN SU-3200 — автоматическая установка жидкостной очистки полупроводниковых пластин диаметром 300 мм. Каждая пластина обрабатывается отдельно: проходит химическую очистку, промывку и сушку по заданному рецепту. Машину рассматривают для удаления загрязнений между операциями изготовления микросхем.
При расширении производства основное преимущество SU-3200 — возможность параллельной работы нескольких камер. Платформа поддерживает до 12 технологических камер. Это позволяет распределять поток пластин между модулями, однако фактический выпуск зависит от длительности химической обработки и сушки.
При подборе подержанной SU-3200 мы рекомендуем сначала определить, сколько камер требуется именно под ваш процесс. Наличие двенадцати камер в корпусе ещё не означает, что все они укомплектованы одинаково или готовы к работе с нужным реагентом. Важны состав химических линий, состояние форсунок и вращательных узлов, а также комплектность внешней системы подачи химикатов.
Для сравнения предложений полезнее запросить длительность рабочего цикла и результаты очистки тестовых пластин, чем ориентироваться только на максимальную паспортную производительность. Если установка приобретается взамен действующей SU-3200, совпадение камер и химической конфигурации может сократить объём переналадки.
Преимущества для производственной линии
Параллельная обработка в нескольких камерах для увеличения пропускной способности.
Отдельный цикл очистки, промывки и сушки для каждой пластины.
Выбор конфигурации подачи химикатов под конкретную технологическую операцию.
Технические характеристики SCREEN SU-3200
| Производитель | SCREEN Semiconductor Solutions |
|---|
| Модель | SU-3200 |
|---|
| Диаметр пластин | 300 мм |
|---|
| Способ обработки | Поштучная жидкостная очистка, промывка и сушка |
|---|
| Максимальное количество камер | 12; установленное количество уточняется |
|---|
| Компоновка камер | До 4 башен по 3 уровня |
|---|
| Производительность платформы | До 800 пластин/ч при соответствующей конфигурации и условиях процесса |
|---|
| Передача пластин | Автоматическая |
|---|
| Подача химикатов | Зависит от установленных модулей и внешних систем снабжения |
|---|
Для подбора сообщите тип загрязнения, используемые реагенты и требуемый выпуск пластин в час. Другие модели представлены в разделе оборудования для очистки пластин.