Applied Materials P5000, также известная как Precision 5000, — это кластерная система плазмохимического осаждения из газовой фазы. Установка применяется для формирования диэлектрических, изолирующих и пассивирующих плёнок на полупроводниковых пластинах.
Мы предлагаем бывшие в эксплуатации системы Applied Materials P5000 и подбираем оборудование с учётом размера пластин, необходимого состава камер, технологического процесса и состояния основных узлов.
Что это за установка и для какого процесса она используется
P5000 относится к системам PECVD — Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition. В процессе осаждения плазма активирует газовые реагенты, благодаря чему плёнка формируется при более низкой температуре, чем при обычном термическом CVD.
Установка имеет кластерную конструкцию. Пластины перемещаются между загрузочной зоной и технологическими камерами центральным вакуумным роботом. На одной платформе может быть установлено до четырёх отдельных процессных камер.
Такая конструкция позволяет выполнять несколько процессов осаждения без контакта пластин с атмосферой, а также разделять камеры по типу материала или рецепта.
Какие плёнки и изделия можно обрабатывать
В зависимости от комплектации камер и газовой системы Applied Materials P5000 может использоваться для осаждения следующих материалов:
диоксид кремния SiO₂;
нитрид кремния SiN или SiNx;
пассивирующие диэлектрические покрытия;
межслойные изолирующие плёнки;
аморфный кремний — при наличии соответствующей камеры и газовой конфигурации.
Система применяется при производстве интегральных схем, дискретных и силовых полупроводниковых приборов, MEMS-компонентов, датчиков и других изделий на кремниевых пластинах.
Перед нанесением плёнки особенно важны состояние поверхности и отсутствие органических загрязнений. Оборудование для подготовки поверхности можно посмотреть в разделе очистки полупроводниковых пластин.
Основные технические характеристики
| Производитель | Applied Materials |
|---|
| Модель | Precision 5000 / P5000 PECVD |
|---|
| Тип оборудования | Кластерная система PECVD |
|---|
| Метод обработки | Плазмохимическое осаждение из газовой фазы |
|---|
| Тип обработки пластин | Однопластинная обработка |
|---|
| Размер пластин | 150 или 200 мм, в зависимости от конфигурации |
|---|
| Количество технологических камер | До 4 камер |
|---|
| Типичные плёнки | SiO₂, SiN/SiNx; другие процессы зависят от установленной камеры |
|---|
| Типичный диапазон температуры процесса | Приблизительно 200–400 °C; точный диапазон определяется камерой и рецептом |
|---|
| Передача пластин | Автоматическая, с помощью центрального вакуумного робота |
|---|
Фактические параметры конкретной установки необходимо подтверждать по спецификации камер, газовой схеме и установленному программному обеспечению.
Чем отличаются конфигурации Applied Materials P5000
Название P5000 обозначает платформу, а не одну неизменную комплектацию. Две системы одной модели могут существенно отличаться по технологическим возможностям.
При подборе оборудования необходимо проверить:
размер обрабатываемых пластин — 150 или 200 мм;
количество и тип установленных PECVD-камер;
назначение каждой камеры и историю выполнявшихся процессов;
состав газовой панели и диапазоны расходомеров MFC;
тип RF-генератора и согласующего устройства;
конструкцию электрода и нагревателя;
наличие загрузочной станции и состояние вакуумного робота;
модель и состояние вакуумных насосов;
версию управляющего программного обеспечения;
наличие оснастки, запасных частей и технологических комплектов.
Какие данные нужны для подбора установки
Чтобы подобрать подходящую P5000, сообщите размер пластин, требуемый материал плёнки, температуру процесса, количество необходимых камер и целевую производительность. Если имеется действующий технологический процесс, желательно также указать используемые газы и требования к толщине плёнки.
Если для проекта требуется нанесение металлических или реактивных покрытий на пластинах 300 мм, рассмотрите кластерную PVD-систему Canon Anelva FC7100. Для конформных покрытий и точного контроля толщины доступна система SAMCO AD-230LP PEALD.
Другие установки представлены в разделе оборудования для нанесения тонких плёнок.