ThinkLaser SigmaDSC для кассетной обработки пластин разных форматов
ThinkLaser SigmaDSC — автоматическая система глубокой точечной маркировки кремниевых пластин. Она наносит постоянные идентификаторы, позволяющие связать отдельную пластину с партией и историей обработки. Установка рассчитана на полированный и неполированный кремний, а символы могут располагаться по прямой линии или дуге.
При выборе SigmaDSC основной вопрос — формат кассет и состав транспортной системы. Для модели указаны три кассетных порта под пластины 100–200 мм; исполнение с двумя портами 300 мм предлагается как опция. Поэтому диапазон 100–300 мм описывает возможности семейства, а не универсальную комплектацию каждой машины.
Для участка с несколькими диаметрами пластин полезно заранее сопоставить кассеты, захваты и оптический ориентатор с действующим оборудованием. Если идентификатор считывается на этапе метрологии и инспекции, расположение и формат кода следует согласовать с системой распознавания этого участка.
При покупке SigmaDSC б/у важно проверить стабильность переноса пластин и повторяемость положения маркировки. Опциональный робот с переворотом требуется только для соответствующего маршрута обработки. Состояние лазера оценивают по качеству точек и читаемости кода, а комплектность — по фактическим портам, захватам и установленному программному обеспечению.
Преимущества для кассетного производства
Разные варианты загрузки под распространённые диаметры кремниевых пластин.
Роботизированный перенос с двумя захватами в указанной производителем конфигурации.
Настройка размера точки и положения нескольких групп маркировки.
Основные параметры SigmaDSC
| Параметр | Значение |
|---|
| Модель | ThinkLaser SigmaDSC |
| Способ маркировки | Точечная, Hard Mark |
| Диаметры пластин в семействе | 100–300 мм, в зависимости от оснащения |
| Кассетные порты | Три порта 100–200 мм; опционально два порта 300 мм |
| Материал | Полированный и неполированный кремний |
| Диаметр точки | 50–110 мкм, ±10% |
| Поле маркировки | 50 × 50 мм после совмещения |
| Повторяемость положения | ±75 мкм по X и Y относительно основной метки привязки |
| Заявленная производительность | 240 пластин/ч при одноимпульсной маркировке 12 символов матрицей 5 × 9 |
| Габариты, В × Ш × Г | 1 675 × 1 461 × 978 мм |
Производительность зависит от формата пластины, числа символов, глубины и последовательности перемещений. Приведённые данные не подтверждают наличие всех опций на конкретной установке б/у.
Для подбора SigmaDSC отправьте список используемых диаметров, тип кассет и макет маркировки. Также укажите, требуется ли нанесение кода с переворотом пластины.