ThinkLaser SC300 для маркировки с низким образованием частиц
ThinkLaser SC300 — автоматическая установка мягкой лазерной маркировки, или Soft Mark, для кремниевых пластин диаметром 300 мм. Она наносит неглубокие точечные символы и коды для идентификации пластин. Технология SuperSoftMark разработана для ограничения образования частиц в зоне маркировки, что особенно важно на участках с высокими требованиями к чистоте.
В спецификации указаны полированные пластины из чистого кремния без покрытия. Для поверхности с нанесёнными плёнками или другого материала режим нельзя выбирать по аналогии. Сначала необходимо проверить контраст кода и характер воздействия на образце с той же подготовкой поверхности, что и в производстве.
SC300 стоит рассматривать, когда требуется читаемое обозначение при небольшой глубине отметки. При этом результат зависит не только от лазерного режима, но и от чистоты исходной поверхности. Если в маршруте предусмотрена очистка пластин, полезно оценивать читаемость и состояние маркировки после полного цикла обработки.
Установки б/у могут отличаться способом захвата пластин. Опциональное удержание за край имеет другие показатели производительности, чем стандартная конфигурация. При подборе следует уточнить допустимый контакт с поверхностью, оснащение робота и наличие комплекта для 200-миллиметровых пластин, если этот формат необходим.
Особенности SC300
Мягкая маркировка для процессов, чувствительных к загрязнению частицами.
Возможность выбрать стандартную транспортировку или опциональный захват за край.
Контроль работы лазера с регистрацией параметров процесса.
Характеристики и варианты исполнения
| Параметр | Значение |
|---|
| Модель | ThinkLaser SC300 |
| Технология | SuperSoftMark, точечная мягкая маркировка |
| Диаметр пластин | 300 мм; переход на 200 мм — опционально |
| Материал по спецификации | Полированный чистый кремний без покрытия |
| Диаметр точки | 50–70 мкм, ±10% |
| Глубина точки в разделе Marking Performance | 2,4 ±0,4 мкм |
| Длина волны | 1 053 нм |
| Поле маркировки | 50 × 50 мм после совмещения |
| Производительность стандартного исполнения | 125–180 пластин/ч* |
| Производительность с захватом за край | 70–110 пластин/ч* |
*Условия производителя: одноимпульсная маркировка, матрица 5 × 9, 12 символов. Значение глубины относится к указанному режиму, а не ко всем возможным настройкам установки.
Для оценки SC300 укажите состояние поверхности, допустимый способ захвата и требования к частицам. Образец пластины поможет проверить, подходит ли мягкая маркировка для вашего процесса.