ThinkLaser HM300 для стойкой идентификации кремниевых пластин
ThinkLaser HM300 — автоматическая установка лазерной маркировки кремниевых пластин диаметром 300 мм. Она формирует углублённые точки, из которых складываются символы и идентификационные коды. Такой способ маркировки, называемый Hard Mark, применяют, когда обозначение должно оставаться читаемым после последующих технологических операций.
Установка предназначена для полированных и неполированных кремниевых пластин. При выборе режима важны место нанесения кода, допустимая глубина и объём материала, который будет удалён дальше по маршруту. Если предусмотрены шлифовка и утонение пластин, расположение маркировки нужно согласовать с обрабатываемой стороной.
HM300 позволяет выбирать размер точки и настраивать глубину маркировки. Это полезно при переходе между требованиями к размеру символов и стойкости кода. Однако более глубокая отметка не всегда предпочтительнее: режим должен соответствовать толщине пластины и ограничениям конкретного процесса.
Для оборудования б/у следует проверить состояние лазера и оптики, точность совмещения и работу загрузочных портов. Поддержка 200 мм является опцией. Если нужен этот формат, в комплекте должны быть соответствующие компоненты транспортировки и позиционирования, а не только программный рецепт.
Преимущества HM300
Регулируемая глубина для согласования маркировки с последующей обработкой.
Программный выбор двух размеров пятна с системой Dual-Spot Optics при соответствующем оснащении.
Автоматическая подача и оптическое ориентирование пластин.
Технические параметры
| Параметр | Значение |
|---|
| Модель | ThinkLaser HM300 |
| Способ маркировки | Точечная, Hard Mark; строка или дуга |
| Диаметр пластин | 300 мм; 200 мм — опционально |
| Материал | Полированный и неполированный кремний |
| Диаметр точки | 50–110 мкм |
| Длина волны лазера | 1 053 нм |
| Поле маркировки после совмещения | 50 × 50 мм |
| Зона нанесения | Полоса шириной 25 мм вдоль окружности пластины |
| Повторяемость положения маркировки | ±75 мкм по X и Y относительно основной метки привязки |
| Заявленная производительность | 65–85 пластин/ч при одноимпульсной маркировке 12 символов матрицей 5 × 9 |
Производительность указана для условий производителя. Допустимую глубину и читаемость кода подтверждают на образцах с учётом состояния лазера и последующего технологического маршрута.
Для подбора HM300 пришлите диаметр и толщину пластины, образец кода и требования к его сохранности после обработки.