Canon FPA-3000i4 — проекционный i-line степпер
Canon FPA-3000i4 — установка проекционного экспонирования, использующая ртутную лампу и спектральную линию i-line с длиной волны 365 нм.
Машина переносит уменьшенное изображение с фотошаблона на слой фоторезиста. Экспонирование выполняется последовательно по отдельным полям пластины методом Step-and-Repeat.
Эта модель предназначена для зрелых технологических процессов, где достаточно разрешения около 0,35 мкм и нет необходимости использовать более сложную KrF- или ArF-литографию.
Для каких процессов используется FPA-3000i4
Canon FPA-3000i4 подходит для экспонирования:
областей металлизации;
контактных площадок;
окон в пассивации;
масок ионной имплантации;
структур MEMS;
силовых полупроводниковых приборов;
датчиков и оптоэлектронных компонентов;
других некритических слоёв.
Модель может использоваться как в серийном производстве, так и на опытных и исследовательских линиях.
Какие материалы и изделия можно обрабатывать
Основное применение — фотолитография на кремниевых пластинах.
В зависимости от установленного держателя и системы загрузки оборудование также может работать с:
Возможность обработки нестандартного материала необходимо подтверждать по диаметру, толщине, прогибу, типу базового среза и конструкции держателя.
Обычно на FPA-3000i4 производят:
силовые диоды и транзисторы;
аналоговые микросхемы;
MEMS-датчики;
фотодиоды;
светодиодные структуры;
дискретные полупроводники;
оптоэлектронные компоненты.
Технические параметры Canon FPA-3000i4
| Параметр | Значение |
|---|
| Производитель | Canon |
| Модель | FPA-3000i4 |
| Тип оборудования | i-line степпер Step-and-Repeat |
| Длина волны | 365 нм |
| Источник излучения | Ртутная лампа |
| Разрешение | До 0,35 мкм |
| Коэффициент уменьшения | 5:1 |
| Размер фотошаблона | 6 дюймов |
| Поддерживаемые пластины | Зависит от загрузчика и держателя |
| Конфигурация указанной машины | 200 мм SEMI, с базовым срезом |
| Загрузчик указанной машины | Type6-L |
| Система смены фотошаблонов | Canon Standard |
| Климатическая камера | CD-80 |
| Тип экспонирования | Пошаговое экспонирование полей |
| Состояние | Бывшее в эксплуатации |
Разрешение 0,35 мкм является характеристикой платформы. Реальный результат зависит от объектива, состояния лампы, фоторезиста, фотошаблона, фокуса и параметров процесса.
Какие конфигурации встречаются
Размер пластин
FPA-3000i4 встречается в конфигурациях для пластин 100, 125, 150 и 200 мм. Размер определяется загрузчиком, кассетами, держателем и программными настройками.
В рассматриваемой конфигурации установлен загрузчик Type6-L для пластин 200 мм. Это не означает, что все FPA-3000i4 изначально рассчитаны только на 200 мм.
Тип ориентации пластины
Система может быть настроена под пластину с базовым срезом или с выемкой. При покупке необходимо сверять ориентацию пластины с загрузчиком и держателем.
Система смены фотошаблонов
На машинах могут отличаться тип и вместимость устройства смены фотошаблонов. Необходимо уточнять количество кассет, состояние привода и наличие держателей.
Климатическое оборудование
Камера CD-80 указана для рассматриваемой установки. У других машин климатическая система и комплект вспомогательных блоков могут отличаться.
Система совмещения
В зависимости от версии и установленных опций могут отличаться методы распознавания меток, производительность и поддерживаемые режимы совмещения.
Что необходимо сообщить при запросе
Для подбора Canon FPA-3000i4 желательно указать:
материал и диаметр пластины;
толщину и тип ориентации;
требуемое разрешение;
размер поля;
количество слоёв;
требования к совмещению;
размер и тип фотошаблона;
модель трек-системы;
необходимость запуска и тестового экспонирования.
Это позволяет подобрать не просто FPA-3000i4, а машину с подходящим загрузчиком, держателем и системой совмещения.