ACCRETECH UF200R — автоматическая зондовая станция для электрического контроля полупроводниковых приборов на пластине. Она загружает пластину, выполняет совмещение и последовательно подводит контактные площадки к зондам. Электрические измерения проводит подключённый тестер. Модель предназначена для работы с дискретными, силовыми и логическими приборами, а при специальной комплектации — с MEMS.
UF200R стоит рассматривать для действующего производства с пластинами до 200 мм, где требуется автоматизировать контактирование и перемещение между кристаллами. При выборе оборудования важно учитывать число площадок, расположение зондов и время электрического теста. Максимальная скорость перемещения осей сама по себе не определяет количество проверенных пластин за смену.
Для силовых приборов и измерения малых токов особенно важна комплектация измерительного тракта. Высоковольтное исполнение, условия для измерения малых токов и температурное тестирование относятся к дополнительным возможностям платформы. Их наличие необходимо проверять на конкретной машине вместе с совместимостью зондовой карты и тестовой головки.
При покупке б/у UF200R полезно оценить состояние вакуумного стола, точность выхода на площадки и повторяемость контакта после нескольких циклов загрузки. Для тонких, изогнутых пластин и MEMS требуется соответствующий механизм переноса. Если машина подбирается под уже работающий тестер, его модель и схема подключения должны быть известны до согласования поставки.
Преимущества UF200R
Автоматическая загрузка и позиционирование пластин для серийного контроля.
Варианты исполнения для высоковольтных и малотоковых измерений.
Специальные механизмы переноса для чувствительных и нестандартных пластин.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|
| Стандартный диапазон пластин | 5–8 дюймов, максимальный формат 200 мм |
| Пластины 4 дюйма | Дополнительная комплектация |
| Скорость перемещения по X/Y | До 300 мм/с |
| Скорость перемещения по Z | До 30 мм/с |
| Угол поворота | ±5° |
| Температурное тестирование | Низко- и высокотемпературные исполнения, опция |
| Специальные измерения | Малые токи и высокое напряжение, опции |
| Перенос тонких и изогнутых пластин | Специальный механизм, опция |
Температурный диапазон и допустимые электрические параметры уточняются по установленному столу, оснастке и измерительному комплексу.
Для подбора UF200R укажите диаметр и толщину пластины, модель тестера и условия измерений. При комплектации участка можно также рассмотреть ATE-системы для тестирования микросхем.