SINTAIKE STK-7080 — полуавтоматическая установка для монтажа полупроводниковых пластин на синюю или UV-плёнку. В отличие от обычных роликовых машин, она использует бесконтактное вакуумное ламинирование.
Оборудование предназначено для тонких и чувствительных пластин из кремния, SiC, GaN и GaAs перед резкой или другими операциями разделения.
Преимущества вакуумного ламинирования
минимальное механическое давление на пластину;
снижение риска трещин и повреждения поверхности;
равномерное прилегание плёнки;
уменьшение количества пузырей;
поддержка тонких пластин толщиной от 100 мкм;
автоматическая подача, обрезка и сбор отходов плёнки.
Технические характеристики
| Производитель | SINTAIKE |
|---|
| Модель | STK-7080 |
|---|
| Тип оборудования | Вакуумная установка монтажа пластин на плёнку |
|---|
| Метод ламинирования | Бесконтактное вакуумное ламинирование без прижимного ролика |
|---|
| Размер пластин | 4–8 дюймов |
|---|
| Толщина пластин | Приблизительно 100–750 мкм |
|---|
| Материалы пластин | Кремний, SiC, GaN и GaAs |
|---|
| Поддерживаемые плёнки | Синяя плёнка и UV-плёнка |
|---|
| Точность позиционирования | Приблизительно ±0,5 мм |
|---|
| Режим работы | Полуавтоматический |
|---|
| Управление | PLC и сенсорная панель |
|---|
| Антистатическая защита | Ионизированный воздух |
|---|
Комплектация может отличаться размером рабочего стола, типом плёнки, вакуумным модулем и системой резки. Для обычных пластин толщиной от 300 мкм можно также рассмотреть роликовый ламинатор SINTAIKE STK-6020.
После монтажа пластина может передаваться на оборудование дисковой резки.