Nitto DR8500III — полностью автоматическая установка для нанесения защитной плёнки на лицевую сторону полупроводниковых пластин диаметром 200 мм.
Оборудование устанавливается перед шлифовкой обратной стороны. Защитная плёнка закрывает сформированные на лицевой поверхности структуры и снижает риск царапин, загрязнения и механического повреждения во время утонения.
Почему DR8500III используют на линиях 200 мм
полностью автоматическая обработка пластин;
стабильное позиционирование и нанесение плёнки;
контролируемое давление при ламинировании;
снижение количества складок, пузырей и непроклеенных участков;
меньше ручных операций с обработанными пластинами;
подходит для серийных линий утонения 200-миллиметровых пластин.
Технические характеристики
| Производитель | Nitto Denko |
|---|
| Серия | NEL SYSTEM |
|---|
| Модель | DR8500III |
|---|
| Тип оборудования | Автоматическая установка нанесения защитной плёнки |
|---|
| Размер пластин | 200 мм / 8 дюймов |
|---|
| Основной процесс | Нанесение защитной плёнки перед back grinding |
|---|
| Режим работы | Полностью автоматический |
|---|
| Обрабатываемый материал | Полупроводниковые пластины |
|---|
| Тип расходного материала | Защитная полупроводниковая плёнка; совместимость зависит от параметров ленты |
|---|
| Управляемые операции | Подача пластины, выравнивание, ламинирование и вывод после нанесения |
|---|
| Типичные применения | Логические, аналоговые, силовые приборы и другие изделия на пластинах 200 мм |
|---|
Подержанные DR8500III могут отличаться кассетной загрузкой, держателем пластины, конфигурацией резки плёнки, контроллером и совместимыми типами защитной ленты. Перед поставкой необходимо проверить работу транспортировки и выполнить пробное нанесение плёнки.
После DR8500III пластина передаётся на установку шлифовки обратной стороны. Другие решения представлены в разделе оборудования для монтажа пластин на плёнку.