Nokota ECD для формирования межсоединений на пластинах
Applied Materials Nokota ECD — модульная установка электрохимического осаждения для современных технологий корпусирования. Она используется при изготовлении контактных выступов, перераспределительных соединений и структур со сквозными отверстиями в кремнии. Платформа рассчитана на процессы, в которых на одной пластине требуется последовательно сформировать один или несколько металлических слоёв.
Nokota применяют в маршрутах Flip Chip, корпусирования на уровне пластин, Fan-Out и изготовления интерпозеров. В зависимости от камер и химической системы доступны медь, сплав олово–серебро, никель, золото, олово и палладий. Для последующего монтажа кристаллов методом Flip Chip состав и геометрия контактных выступов должны соответствовать выбранному способу соединения.
Особое внимание в конструкции уделено защите пластины от электролита. Узел SafeSeal герметизирует её до обработки и сохраняет защиту в последовательности нанесения металлов. Механизм HotSwap позволяет обслуживать уплотняющие узлы вне процессных камер. При покупке оборудования б/у состояние уплотнений и работа проверки герметичности имеют прямое значение для сохранности дорогих заготовок.
Комплектацию Nokota следует сравнивать с вашим набором операций: какие металлы наносятся, сколько требуется отдельных камер и как выполняется промежуточная промывка. Также необходимо проверить формат загрузки. Исполнение на 200 мм, на 300 мм и конфигурация для обоих диаметров требуют соответствующего аппаратного оснащения.
Особенности для многослойной металлизации
Защита пластины системой SafeSeal на протяжении одно- или многометалльного процесса.
Модульная конфигурация с подбором отдельных камер под последовательность осаждения.
Промывка внутри камер VMax между операциями нанесения покрытий.
Основные характеристики Nokota ECD
| Параметр | Характеристика |
|---|
| Производитель / модель | Applied Materials / Nokota ECD |
| Назначение | Электроосаждение металлов для корпусирования и межсоединений |
| Диаметры пластин | 200 и 300 мм |
| Работа с двумя диаметрами | 200/300 мм на одной платформе при соответствующей комплектации |
| Металлы и сплавы | Cu, Sn–Ag, Ni, Au, Sn, Pd; по установленным камерам и химической системе |
| Защита пластины | SafeSeal с проверкой герметичности перед обработкой |
| Обслуживание уплотняющих узлов | Механизм HotSwap вне процессных камер |
| Камеры VMax | Электроосаждение с интегрированной промежуточной промывкой |
Описание относится к платформе Nokota ECD. Число камер, состав металлов и поддерживаемые диаметры подтверждаются спецификацией конкретной машины. Параметры нового поколения Nokota VMax 2 не переносятся автоматически на более ранние установки.
Для запроса предложения отправьте последовательность металлических слоёв, их толщины, диаметр пластин и требуемый объём выпуска. Если процесс уже освоен, укажите используемые электролиты и требования к равномерности покрытия.