ASMPT AMICRA NANO — установка прецизионного монтажа кристаллов и сборки Flip Chip, разработанная прежде всего для фотоники. Платформа поддерживает эвтектическую пайку AuSn и задачи, в которых требуется субмикронное позиционирование. Её стоит рассматривать для оптоэлектронных сборок, где положение кристалла относительно подложки непосредственно влияет на работу изделия.
Главная особенность NANO — динамическое совмещение с использованием неподвижно закреплённых оптических систем. Камеры установлены на гранитной конструкции, а перемещения выполняются относительно них. Такая архитектура ориентирована на точность. Для конкретной сборки важно оценивать положение после закрепления и охлаждения, поскольку нагрев способен изменить взаимное расположение деталей.
Возможности подержанной NANO зависят от установленного технологического оснащения. Производитель предусматривает несколько вариантов нагрева, включая лазерную пайку, а также нанесение клея и УФ-отверждение в зоне монтажа. Поэтому машину, ранее работавшую с клеевым соединением, следует отдельно проверить на наличие узлов, необходимых для процесса AuSn.
При подборе б/у экземпляра особое внимание требуется состоянию оптики, виброизоляции и калибровке параллельности. Заявленные ±0,2 мкм нельзя автоматически переносить на любую деталь и любой режим. Для обоснованного выбора нужны чертёж сборки, расположение меток совмещения, допустимое смещение после соединения и результаты проверки на сопоставимом изделии.
Возможности AMICRA NANO
Динамическое совмещение для задач с субмикронными допусками.
Эвтектическая пайка непосредственно в зоне монтажа при соответствующем оснащении.
Разные варианты нагрева и закрепления кристаллов в модульной платформе.
Технические данные
| Параметр | Значение |
|---|
| Заявленная точность установки | ±0,2 мкм при 3σ; зависит от изделия и материала |
| Система совмещения | Dynamic Alignment System |
| Оптическая архитектура | 4 неподвижно закреплённые системы формирования изображения |
| Монтажная станция | 300 мм |
| Эвтектическое соединение | Поддержка AuSn; требуется соответствующая комплектация |
| Варианты нагрева | 3 варианта, включая систему лазерной пайки |
| Работа с клеем | Штампование, дозирование и УФ-отверждение — по комплектации |
| Контроль геометрии | Количественная калибровка параллельности |
| Защита рабочей зоны | HEPA-фильтрация и ионизатор |
Размер монтажной станции не подтверждает наличие загрузчика пластин соответствующего диаметра. Подача компонентов, нагрев и программные функции проверяются по комплектации экземпляра.
Для подбора AMICRA NANO укажите материал соединения, требуемую точность после монтажа и способ подачи компонентов. Если задача допускает микронные допуски и предполагает высокий серийный выпуск, сравните требования с возможностями 8800 FC QUANTUM advanced.